低温下的氮化钛化学气相沉积（二）

摘要

2.4 光学性能 用3JS13 Varian 2390型光谱仪在 3.0 μm和0.35μm之间测量光谱的反射率与透射率,用Nicolet Fouri-er转换IR光谱仪测量中IR区的反射率,用由Harrick科技公司购买的V-W型双反射附件来标定IR反射镜,用制造厂提供的反射镜的曲线修正观测结果。 图3是500～600℃之间生成的三种厚度膜的反射光谱,下面讨论这些数据和理论值的符合情况。