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化学气相沉积法制备氮化钛

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本文以氮化钛的CVD制备为例,说明了源物质的选择对CVD过程的影响.在此基础上,综述了化学气相沉积技术在材料制备领域的最新进展.

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来源
《化学进展》 |2003年第5期|374-378|共5页
作者
王淑涛; 张祖德;
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作者单位

中国科学技术大学化学系,合肥,230026;

中国科学技术大学化学系,合肥,230026;

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正文语种 chi
中图分类第Ⅳ族金属元素及其化合物 ; 第Ⅴ族元素及其化合物 ;
关键词
化学气相沉积 ; 源物质; 氮化钛 ; 制备;

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