倒装设备键合头旋转补偿算法研究

摘要

键合头是工作过程中与芯片直接接触的关键零部件,其定位精度与速度决定了设备整体性能,旋转补偿算法是用来补偿键合头旋转轴偏心以及拾取芯片偏心时,校准角度后对装贴芯片位置的影响,该算法在保证速度的同时,提高了精度。