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全自动键合机送线装置研究

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通过对自动键合机送线装置的构成和原理进行研究,并结合键合工艺对送线系统进行分析,提出送线装置的结构优化方案,进而为提高自动键合机的效率和稳定性提供理论支持.

著录项

来源
《电子工业专用设备》 |2021年第4期|19-2267|共5页
作者
常亮; 孙彬; 徐品烈; 种宝春;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十五研究所北京 100176;

中国电子科技集团公司第四十五研究所北京 100176;

中国电子科技集团公司第四十五研究所北京 100176;

中国电子科技集团公司第四十五研究所北京 100176;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
键合机; 送线装置; 空气导向器; 张紧装置;

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