用离轴照明进行0.35μm光刻

摘要

本文探讨了用离轴照明技术提高光刻工艺容限的方法。通过数值孔径分别为０．５４和．４８透镜系统的实验数据介绍了该技术的优、缺；点，并讨论了其在今后应用于亚半微米图形曝光的潜力所在，结合普通抗蚀剂工艺分析了该技术对薄膜工艺的影响。