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一种新型晶片自动定位方法

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摘要

阐述一种新型的硅片自动定位方法,并介绍了其特点和具体的实现方法.此方法可适应不同规格晶片的定位要求,实用性强.

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来源
《电子工业专用设备》 |2003年第2期|34-35,45|共3页
作者
王学军; 张志军;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,东燕郊,101601;

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,东燕郊,101601;

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正文语种 chi
中图分类制造工艺及设备 ;
关键词
定位边; 定位槽; 晶片 ;

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