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SMIF隔离技术的洁净微环境--洁净技术的新发展

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叙述了当今世界空气净化的新概念-SMIF隔离技术.介绍了该项技术的国内研究发展情况.并以详细的技术对比数据显示了SMIF技术将成为21世纪高级别空气净化的主流.

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来源
《电子工业专用设备》 |2003年第2期|17-21|共5页
作者
周明孝;
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作者单位

江苏苏净集团有限公司,江苏,苏州,215008;

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正文语种 chi
中图分类隔离技术;
关键词
SMIF; 空气洁净; 微环境隔离技术;

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