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MEMS中的簿膜制造技术

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摘要

追述了薄膜淀积技术的历史,按照制备手段对MEMS制造中使用的各种薄膜制造技术进行了大致的分类和对比,介绍了相应的理论研究概况,除了电镀技术之外,MEMS技术基本来自传统的IC制造工艺.

著录项

来源
《电子工业专用设备》 |2006年第1期|39-42|共4页
作者
董立军; 陈大鹏; 欧毅; 黄钦文; 石莎莉; 焦斌斌; 李超波; 杨清华; 叶甜春;
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作者单位

中国科学院微电子研究所,北京,100029;

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中国科学院微电子研究所,北京,100029;

中国科学院微电子研究所,北京,100029;

中国科学院微电子研究所,北京,100029;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类制造工艺;
关键词
微机电系统; 薄膜淀积; PVD; CVD; 电镀; 物理淀积;

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