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基于串行通讯协议宏的MOCVD反应室压力控制

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摘要

介绍了MKS压力控制系统的组成、651C控制器的通信命令参数、串行通信协议宏的构造方法.

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来源
《电子工业专用设备》 |2008年第1期|38-41|共4页
作者
胡晓宇; 王建成; 邹春艳;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南,长沙,410111;

中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南,长沙,410111;

中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南,长沙,410111;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.055;
关键词
MOCVD; PLC; 串行通信; 协议宏; 闭环控制; 编程;

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