公开/公告号CN203947158U
专利类型实用新型
公开/公告日2014-11-19
原文格式PDF
申请/专利权人 中国电子科技集团公司第四十八研究所;
申请/专利号CN201420364832.7
申请日2014-07-03
分类号C23C16/18(20060101);C23C16/455(20060101);
代理机构43113 长沙正奇专利事务所有限责任公司;
代理人马强
地址 410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
入库时间 2022-08-22 00:20:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-11-19
授权
授权
机译: MOCVD托盘装置反应室和MOCVD装置
机译: MOCVD原位清洗MOCVD反应室的方法
机译: 用于确定MOCVD反应器的处理室的清洁过程结束的方法