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多线切割机摆动方式研究

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摘要

阐述了在多线切割机中较为常用的摆动切割的几种方式,通过对几种摆动切割方式线网切割轨迹的理论分析,对比了几种切割方式的优缺点,最终并确定了在实际使用中最佳的切割方式.

著录项

来源
《电子工业专用设备》|2016年第9期|22-24|共3页
作者
周庆亚; 付纯鹤; 陈学森; 谢耿勋;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176;

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176;

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176;

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
多线切割机; 摆动; 切割;

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