KLA-Tencor推出晶圆全面检测与检查系列产品应对10纳米良率挑战

摘要

KLA-Tencor公司日前在SEMICON West2016上为前沿集成电路制造推出了六套先进的缺陷检测与检查系统：3900系列（以前称为第5代）和2930系列宽波段等离子光学检测仪、Puma^（TM）9980激光扫描检测仪、CIRCL^（TM）5全表面检测套件、Surfscan~SP5XP无图案晶圆缺陷检测仪和eDR7280^（TM）电子束检查和分类工具。这些系统采用一系列创新技术形成一套全面的晶圆检测解决方案，使集成电路制造的所有阶段“从早期工艺研发到生产工艺监控”，都能实现良率关键缺陷的发现与控制。