流化床直接氮化硅粉技术的研究现状及发展方向

摘要

以硅氮反应机理为出发点,从流化床结构设计、原料选取、反应气氛和反应温度控制等四个方面介绍了现有流化床直接氮化硅粉技术的研究现状;同时,基于对现有方法的分析,提出了该技术目前存在的主要问题,并预测了今后的发展方向.