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氦质谱检漏试验方法分析

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摘要

从电子元器件气密性封装的原理入手,介绍了常用的检漏试验方法,阐述了美军标MIL-STD-883氦质谱检漏试验方法的最新发展,分析了积累氦质谱试验方法的特点及要求,并探讨了基于氦气交换时间常数τHe的氦质谱检漏思路.

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来源
《电子产品可靠性与环境试验》 |2014年第4期|34-38|共5页
作者
安琪; 罗晓羽;
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作者单位

工业和信息化部电子第四研究院,北京 100176;

工业和信息化部电子第四研究院,北京 100176;

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正文语种 chi
中图分类真空检漏与仪器;
关键词
氦质谱; 密封; 标准; 试验方法;

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