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张忱;
无;
半导体 ; SOI晶体; 加工; SOI材料;
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机译:在(111)绝缘体上硅(SOI)晶片上的晶片级且高度可控制的硅纳米线晶体管阵列,用于在液态和气态环境中进行高度灵敏的检测
机译:使用具有垂直馈通的SOI盖晶片的MEMS晶片级气密封装的先进MEMS工艺
机译:使用表面微加工技术在SOI晶片上制造高灵敏度霍尔传感器
机译:聚酰亚胺-双压电晶片型纤毛致动器阵列:CMOS兼容微加工技术的演示。
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机译:^ 大型SiC晶片加工技术的开发^ LDQUO;新型半导体电力电子项目实现低碳排放社会^ ^ rdquo; NEDO支持
机译:锶 - 铋 - 钽酸盐电容器集成到sOI晶片上的效果
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机译:具有非SOI区域的SOI晶片的制造方法,具有非SOI区域的SOI晶片的半导体装置及其制造方法
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