公开/公告号CN103918058B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-08-17
原文格式PDF
申请/专利权人 信越半导体株式会社;
申请/专利号CN201280045093.9
申请日2012-08-21
分类号
代理机构北京冠和权律师事务所;
代理人朱健
地址 日本国东京都千代田区大手町二丁目6番2号
入库时间 2022-08-23 09:44:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-17
授权
授权
2014-08-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20120821
实质审查的生效
2014-07-09
公开
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