光刻机掩模台djerk前馈控制算法研究

摘要

针对光刻机掩模台控制系统中存在影响控制精度的机械模态,提出了一种djerk前馈控制方法.该方法在加速度前馈基础上引入一种新的前馈.该算法利用四阶点对点运动轨迹作为参考位置进行仿真验证,与传统的加速度前馈控制方法相比,传统的加速度前馈的位置误差在2.3E～7m,引入djerk前馈后的位置误差在2E～8m.因此,djerk前馈有效地减小位置误差,提升了掩模台系统性能.