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光刻机箱体内部温度控制系统的硬件设计

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摘要

本文介绍了利用PLC实现的光刻机箱体内部温度控制系统的一个硬件设计方案.实验证明,本方案具有设计合理、性能稳定可靠、易于推广等特点.

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来源
《仪器仪表用户》 |2009年第4期|69-70|共2页
作者
冯艳;
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作者单位

安徽建筑工业学院,数理系,合肥,230601;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类自动控制、自动控制系统;其他医疗器械;
关键词
温度控制; 光刻机; PLC; 半导体加工;

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