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URE-2000/25型紫外光刻机控制系统

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介绍了URE-2000/25型紫外光刻机的整机技术指标以及对控制系统的功能要求;较详细地叙述了控制系统的硬件结构组成及控制软件.此控制系统采用了单片机控制技术,具有电路简单、控制灵活、操作方便、运行可靠、成本低廉等特点.

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来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|440-441|共2页
会议地点重庆
作者
罗正全; 胡松;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光刻、掩膜;微处理机;
关键词
光刻机; 单片机; 定时; 控制软件; 输入/输出接口;
入库时间 2022-08-17 10:21:39

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