公开/公告号CN105467778A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-04-06
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州工业职业技术学院;
申请/专利号CN201510996944.3
申请日2015-12-28
分类号G03F7/20;
代理机构上海汉声知识产权代理有限公司;
代理人胡晶
地址 215104 江苏省苏州市苏州国际教育园致能大道1号
入库时间 2023-12-18 15:20:38
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-09
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F7/20 申请公布日:20160406 申请日:20151228
发明专利申请公布后的驳回
2016-05-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20151228
实质审查的生效
2016-04-06
公开
公开
机译: 在光刻机中生成成形激光脉冲的方法和光刻机
机译: 在光刻机和光刻机中生成成形激光脉冲的方法
机译: 在光刻机和光刻机中生成成形激光脉冲的方法