基于Nios Ⅱ的光刻机运动台电机驱动控制系统设计

摘要

为了给光刻机运动台控制系统架构升级提供可靠方案,设计了基于Nios Ⅱ的光刻机运动台电机驱动控制系统.采用FPGA内嵌Nios Ⅱ软核,通过QuartusⅡ软件中的Qsys和功能平台Nios Ⅱ SBT实现电机驱动控制系统硬件电路和软件程序设计.内核部分采用嵌入式多核CPU实现数据并行运算,以提升控制系统的数据处理能力.实验结果表明,该控制系统能够稳定控制电机运转达到预期的驱动效果,验证了该控制系统方案的可行性.