退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
黄语恒; 郭怀新; 孔月婵; 陈堂胜;
南京电子器件研究所 微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室, 江苏 南京 210016;
热管理; 碳化硅; 反应离子刻蚀; 深孔刻蚀; 表面损伤;
机译:用于电源系统片上的高密度3D电容器:基于电化学刻蚀形成的基于硅亚微米孔阵列的技术评估
机译:改进的深孔爆破孔钻井技术,应用于降落和深孔停止以及小型双臂机械化钻机的应用
机译:通过控制晶片温度进行高精度深孔刻蚀的研究(第一报告):设备原型和工艺过程中温度控制效果的验证
机译:ICP刻蚀系统的BCB深孔刻蚀工艺
机译:在使用Langmuir探针和光发射光谱法的深反应离子刻蚀系统中,等离子体表征和刻蚀速率以及通孔侧壁角度相关。
机译:深纳米孔的液滴刻蚀用于填充自对准的复杂量子结构
机译:碳化硅的深反应离子刻蚀
机译:深孔钻孔地球物理技术在煤矿开采前的预测中的应用。阶段2
机译:通过深反应离子刻蚀制造微系统,包括例如:提供用于深反应离子刻蚀的刻蚀工具,进行包括刻蚀步骤的深离子刻蚀的多个重复处理间隔
机译:深孔钻孔设备和深孔加工方法,深孔评估设备和深孔评估方法以及位置偏差评估方法,深孔钻孔设备的光轴调整装置和深孔评估装置,光轴调整方法
机译:深碳化硅刻蚀的材料结构和方法
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。