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集成电路组装后的清洗与免清洗技术

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摘要

从超声波清洗用清洗溶剂,特别是替代消耗臭氧层物质的氯化氟代碳(CFC)清洗溶剂等方面介绍了集成电路的清洗技术;还介绍了集成电路的免清洗工艺技术, 使用免清洗工艺技术对各道关键工序的控制及采用免清洗技术的主要优势.

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来源
《电子元件与材料》 |2001年第4期|35|共1页
作者
王劲松;
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作者单位

华经微电子有限公司,;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类膜集成电路;
关键词
清洗; 免清洗; 消耗臭氧层物质;

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