高介电常数Ta/Al2O3复合膜的制备及性能研究

摘要

首次在溴的丙酮溶液中,以钽为阳极,氧化铝为阴极,通过直流电沉积方法制备了Ta/Al2O3复合膜.借助LCR数字电桥、SEM、EDS等测试手段对Ta/Al2O3复合膜的介电性能及微观结构进行了分析与表征.研究表明:Ta/Al2O3复合氧化膜的表面沉积了质量分数为41.77%的钽.与普通铝阳极(Al2O3)氧化膜相比,复合氧化膜的电容提高了50%以上,这主要归因于介电常数较高的钽在复合氧化膜表面的沉积.