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高分辨率常温压印光刻工艺研究

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摘要

压印光刻技术将传统的模具复型原理应用到微观制造领域,是一种低成本高效率的集成电路制造技术.国外压印光刻工艺主要为热压印.针对热压印光刻工艺中因热变形而导致精度丧失的问题,提出了冷压印光刻.冷压印光刻的复型分辨率和复型质量高,解决了热压印光刻中的诸多难题,实现了0.1μm特征尺寸结构的复型.

著录项

来源
《电加工与模具》 |2003年第3期|53-55|共3页
作者
秦旭光; 李涤尘; 李寒松; 丁玉成; 卢秉恒;
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作者单位

西安交通大学先进制造技术研究所,陕西西安,710049;

西安交通大学先进制造技术研究所,陕西西安,710049;

西安交通大学先进制造技术研究所,陕西西安,710049;

西安交通大学先进制造技术研究所,陕西西安,710049;

西安交通大学先进制造技术研究所,陕西西安,710049;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词
集成电路; 热压印光刻; 冷压印光刻; 复型;

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