具有可控基区底面空穴注入的新型二极管结构

摘要

本文提出了一种3.3kV可控基区底面空穴注入的新型二极管结构,简称CIBH(ControlledInjectionofBacksideHoles)二极管。新二极管结构的特点是在阴极侧埋入浮置p层。这些p掺杂区在nn+结形成强电场,避免在nn+结产生雪崩。与无p层相同结构的二极管相比,CIBH二极管显著改善了动态皮实性以及小电流密度下的软反向恢复特性。仿真和首次试制结果显示这一新二极管概念是可以实现的。