薄膜压力传感器

摘要

cqvip:中国航天时代电子公司采用先进的传感技术．开发出一种新型薄膜压力传感器。该传感器由敏感元件、变换电路和电连接器三部分组成。其工作原理为：敏感元件用溅射工艺在不锈钢平膜片上形成一个由四个电阻组成的电桥．介质压力注入压力腔后．压力作用于平膜片上．使其发生弹性形变．引起应变电阻发生变化．使电桥失去平衡．电桥输出电压与压力成正比。变换电路由稳压器和放大电路组成．稳压器提供给电阻电桥恒定的激励电压．电桥输出电压经放大电路放大实现0～5V的归一化输出。