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梁雪冬; 刘泽文; 刘理天; 李志坚;
清华大学微电子所;
MEMS压控电容; 崩塌效应; 控制极板; 悬臂梁; 牺牲层;
机译:用于射频滤波器系统的高Q,大调谐范围MEMS电容器
机译:平行板MEMS可变电容器中的压控$ C {-} V $响应调谐
机译:射频应用的宽范围MEMS可调电容器设计
机译:用于射频应用的高Q CMOS兼容MEMS可调电容器的设计
机译:具有漂移补偿的高动态范围CMOS-MEMS电容式加速度计阵列
机译:用于低温系数和高线性度的MEMS电容式加速度计的结构设计
机译:用于S波段应用的PolyMUMPS中的两层射频MEMS分形电容器
机译:用于射频mEms电容开关的替代介电薄膜,使用原子层沉积的al2O3 / ZnO合金沉积
机译:用于对第一高动态范围图像和第二高动态范围图像进行编码的编码设备,用于对第一高动态范围图像和第二高动态范围图像进行编码的编码设备,用于对第一高动态范围图像和第二高动态范围图像进行编码的方法范围图像,用于对第一高动态范围图像和第二高动态范围图像进行编码的方法,用于对第一高动态范围图像和第二高动态范围图像进行编码的编码设备
机译:在存在可调节的标称距离范围内并用于测量或的物体时,电容anna在接近传感器对开关信号传递的高响应灵敏度之前。传感器的调节-在预设标称距离的情况下将物体距离作为参考
机译:具有铁电层的压控电容器和制造具有铁电层的压控电容器的方法
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