高调节范围RFMEMS压控电容的设计与模拟

摘要

对传统平行极板MEMS压控电容的局限性进行了理论分析，提出了一种新型的高调节范围MEMS压控电容，它的特点在于使用了三对极板，其中的一对是电容极板，另外两对是控制极板，电容极板用于传输交流信号，而直流控制电压施加在控制极板上，使用有限元分析软件Ansys对其进行了建模与仿真，得出其调节范围高达214％，大大超出了传统的平板电容在调节范围上的自然限制(50％)，设计了该电容的工艺流程，其工艺流程比较简单，很容易集成在标准的CMOS集成电路中。