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史立秋; 孙涛; 闫永达; 董申;
哈尔滨工业大学精密工程研究所;
佳木斯大学机械工程学院;
机械-化学方法芳香烃重氮盐硅单层膜;
机译:湿化学途径通过形成Si-C键在硅表面上组装有机单层膜:表面制备,钝化和功能化
机译:湿化学途径通过形成Si–C键在硅表面上组装有机单层膜:表面制备,钝化和功能化
机译:基于光化学的表面可调节孔径的SnO2单层有序多孔膜的制备方法,可直接应用于电阻型气体传感器
机译:基于机械去除方法的硅表面自组装单层
机译:含硅化合物的化学和基于硅的微电子材料的分子方法。制备金属甲硅烷基络合物,研究亚烷基与硅烷之间的反应以及氧化钛薄膜的沉积。
机译:机械化学方法制备多孔硅纳米粒子
机译:湿化学途径通过形成Si-C键在硅表面上组装有机单层:表面制备,钝化和功能化
机译:用自组装单层膜润滑多晶硅微机械
机译:多晶硅膜或用于化学机械抛光水分散体的使用非晶硅膜抛光的化学机械抛光方法的制造方法以及半导体器件,以及
机译:用于多晶硅膜的水分散体或用于抛光非晶硅膜的化学机械抛光,使用该水分散体的化学机械抛光方法以及半导体器件的制造方法
机译:可通过化学和机械抛光氧化硅膜,氮化硅膜和多晶硅膜的化学机械抛光浆料组合物,以及通过使用相同的方法制造半导体装置的方法
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