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Al、Au溅射薄膜的剥离技术研究

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本文采用氯苯浸泡法对(0.2～2.0)μm的Al、Au溅射薄膜进行剥离,分析了光刻胶厚度和薄膜厚度与剥离图形的关系,对剥离过程中氯苯浸泡工艺以及溅射工艺对剥离图形的影响进行了研究,并在2.0μm厚的Al和Au溅射薄膜上剥离出8.0 μm的缝隙.

著录项

来源
《真空科学与技术学报》 |2005年第z1期|112-114|共3页
作者
于映; 赵晨; 罗仲梓; 翁心桥;
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作者单位

福州大学电子科学与应用物理系;

福州;

350002 浙江万里学院计算机与信息学院;

宁波;

315011 厦门大学萨本栋微机电研究中心;

厦门;

360005 厦门大学萨本栋微机电研究中心;

厦门;

360005;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类各种形状制品;
关键词
溅射薄膜; 剥离; 氯苯浸泡法;

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