叠层成像波长不稳定性校正方法研究

摘要

在叠层成像中若已知波长与实际波长不符或在工作时波长发生偏移,则会使重建图像变模糊并降低图像的分辨率.针对该问题,本文提出了一种分段校正波长不稳定性的方法.该方法将基于Tamura系数的自聚焦方法与叠层成像方法结合,并在不同阶段通过调整轴向距离来校正波长不稳定性.基于菲涅耳衍射理论建立了波长不稳定性对重建结果的影响模型,并指出可通过调整轴向距离来实现对波长不稳定性的校正,并将新的轴向距离代入下一个阶段的迭代计算,直至相邻两次计算的轴向距离之差满足终止条件时,保持最后一轮的轴向距离继续代入到迭代计算,即可校正波长不稳定性,且校正精度在纳米级.仿真以及实验均证明了分段校正波长不稳定性方法的可行性.