新型掺杂LiAlO_2晶体衬底研究

摘要

本文系统研究了L iA lO2晶体及掺钛0.2%原子分数L iA lO2晶体的水解性能,用原子力显微镜对(100)晶片在不同水解时间下的表面形貌进行了观察,对比发现这两种晶体的(100)面均具有极性和易水解性。同时观察到掺钛L iA lO2晶体的抗水解性比纯L iA lO2晶体更好,因为掺钛L iA lO2晶体有更多的L i空位,水解的活性得到降低。