腔面低反射大功率半导体激光器阵列

摘要

光束质量问题是制约半导体激光器应用的主要因素,采用出光面蒸镀低反膜LD阵列半导体激光器阵列锁相技术较好地解决了这个问题。本文设计并制作了高反膜系和极低反膜系,获得了高阈值的LD阵列。本文的低反膜系有大的带宽和小于0.2%的剩余反射率,易于工艺实现,LD阵列的阈值电流密度达到480A/cm2。