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邢亚亮; 张卫平; 唐健; 孙殿竣; 刘朝阳; 欧彬;
上海交通大学微纳电子学系微米/纳米加工技术重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室;
石英半球型微谐振器; 半球谐振陀螺; 模态分析; 湿法腐蚀;
机译:微加工石英石英块体声波谐振器在红外传感中的应用
机译:熔融石英微壳谐振器喷灯回流的仿真
机译:用高频微加工石英谐振器表征吸附的生物分子和生物分子组件的粘弹性质
机译:利用硅和石英晶片的表面活化键合制造微加工石英晶体谐振器
机译:基于微加工石英谐振器的高灵敏度磁力计。
机译:在数字微流体平台中利用高基频石英晶体谐振器作为生物传感器
机译:光学可切换开口环谐振器的仿真与微加工
机译:计算机辅助确定石英谐振器电路瞬态响应的电路仿真过程
机译:双夹豆石英微谐振器
机译:石英玻璃制成的超高质量微谐振器的制造方法
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