化学气相沉积金刚石薄膜衬底的研究进展

摘要

讨论了化学气相沉积金刚石薄膜的各种衬底材料。气相合成金刚石衬底材料分为 3类 ,第一类是能和碳形成碳化物的衬底 ;第 2类是与碳不起反应 (不形成碳化物 )但能溶碳的衬底 ;第 3类是既不与碳反应又不溶碳的衬底。第一种一般与金刚石薄膜有比较好的粘合性 ,后两种虽然使金刚石成核容易 ,但衬底材料与金刚石薄膜结合性较差。