干涉法测量多层透明膜系反射率

摘要

应用干涉法实现透明膜系反射率的测量。将待测膜系镀在两薄玻璃片,并构成F-P干涉仪,根据透射光谱的自由谱宽和干涉峰的半宽值,计算出膜系反射率,避免了光源波动对测量结果的影响。在实验所用膜系的反射率小于98％时,测量误差小于O.09％。