干涉法测量多层透明膜系反射率

摘要

应用干涉法实现透明膜系反射率的测量。将待测膜系镀在两薄玻璃片上 ,并构成 F- P干涉仪 ,根据透射光谱的自由谱宽和干涉峰的半宽值 ,计算出膜系反射率 ,避免了光源波动对测量结果的影响。在实验中所用膜系的反射率小于 98%时 ,测量偏差小于 0 .0 0 4 %。