有机真空镀膜掩膜板的制作方法

摘要

本发明公开了一种在有机电致发光器件制作过程中，用于真空镀膜的掩膜板及其制作加工技术，它是在线切割及光刻腐蚀的基础上，利用齿、槽对镍铬合金丝进行限位，从而形成精细的掩膜板，分辨率为3条线／mm。可实现平板显示屏的矩阵选址。