掩膜板光栅设计减小有机物膜层段差处坡度

摘要

本文针对目前在内嵌式电容触摸屏Array制作过程中,为保证触控性能、显示性能和可靠性能所使用的有机物膜层四周开槽即闭环设计,主要探寻了能够在有机物膜层闭环段差处得到形貌好和坡度缓的可行性掩膜板设计.结果表明,距离有机膜段差处的线宽、线距依次为"0.8,1.2,1.0,1.0,1.2,0.8"的3条光栅掩膜板设计所得到的坡度最缓,仅有13.18°,且形貌较好.