公开/公告号KR20140102234A
专利类型
公开/公告日2014-08-21
原文格式PDF
申请/专利权人 DAI NIPPON PRINTING CO. LTD.;
申请/专利号KR20147016827
发明设计人 HIROBE YOSHINORI;MATSUMOTO YUTAKA;USHIKUSA MASATO;TAKEDA TOSHIHIKO;NISHIMURA HIROYUKI;OBATA KATSUNARI;TAKEKOSHI TAKASHI;
申请日2013-01-11
分类号H01L51/56;H01L21/027;G03F7/20;C23C14/04;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 15:42:18