采用微机械加工技术的微光学加速度计

摘要

表面微机械加工技术是实现单片集成微光学系统的一种新方法。本文介绍一种新型的采用微机械加工技术的微型光学加速度计 ,包括设计、关键器件的加工和测试 ,它是基于光线和光闸相互作用引起通光量变化的工作原理。这一微光学加速度计包含一个 2 μm厚的多晶硅光闸 ,光闸采用微弹簧支撑在基片上 ,微弹簧是长度为 2 0 0 μm的多晶硅褶曲梁 ,硅基片和微结构之间所夹的牺牲层采用氢氟酸湿法刻蚀去除。光闸设计为一个质量弹簧系统 ,对加速度力产生响应。