超光滑加工中抛光液恒温供给系统设计与实现

摘要

围绕用于超光滑光学元件加工的抛光液恒温供给系统的设计和实现而展开,首先,从功能及性能上对系统进行需求分析。然后,给出了系统整体设计方案:采用去离子水作为热媒,使抛光液间接、被动、缓慢、均匀升温,并采用压缩机制冷方式,引入恒定的制冷量,使用PID控制算法使得抛光液的温度控制在恒定值,仿真结果表明该设计方案满足加工工艺提出的精度要求。最后,对搭建后的系统进行测试,在有/无外循环扰动的情况下温度稳定性均优于±0.02℃。系统运行稳定,确保抛光模型和加工去除函数的稳定性,从而进一步提升光学元件的加工精度。