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用于SiC超光滑表面加工的大气等离子体抛光系统设计

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摘要

设计了一套基于射频电容耦合放电原理的大气等离子体抛光原型装置,电容耦合等离子体炬首次被应用到了抛光系统中.针对SiC反射镜的加工实验结果表明,系统工作正常,并可以实现亚纳米级的表面粗糙度.

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来源
《航空精密制造技术》 |2008年第4期|11-14|共4页
作者
王家富; 王波; 张巨帆; 董申;
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作者单位

哈尔滨工业大学,精密工程研究所,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学,精密工程研究所,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学,精密工程研究所,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学,精密工程研究所,哈尔滨,150001;

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正文语种 chi
中图分类抛光;带电粒子光学;
关键词
常压等离子体; 超光滑; 抛光; 电容耦合; 等离子体炬;

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