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黄生荣; 陈朝;
厦门大学物理系;
氮化镓; 湿法刻蚀; 光辅助;
机译:湿法化学刻蚀研究非极性GaN的刻蚀特性
机译:利用湿法和干法缺陷选择性刻蚀研究MOCVD生长的GaN外延层的位错密度
机译:Ga极性AlGaN / GaN微柱的湿法刻蚀机理研究
机译:光增强湿法化学刻蚀与腐蚀的比较研究在各种衬底上生长的GaN外延层的反应离子刻蚀
机译:有机材料等离子体刻蚀的刻蚀轮廓控制与表面反应研究
机译:利用廉价的湿法刻蚀制造台面型石英晶体谐振器的实验研究
机译:电感耦合等离子体刻蚀GaN材料的研究
机译:射频等离子体中半导体材料的刻蚀特性研究。
机译:湿法刻蚀分离GaN基体的方法
机译:GaN和其他III-V材料的GaN III-V原子层刻蚀
机译:GaN和其他III-V材料的原子层刻蚀
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