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李美萱; 王丽; 董连和;
长春理工大学;
长春理工大学光电信息学院;
光学设计; 变焦光学系统; 非球面; 浸没式光刻; 照明系统;
机译:用于极紫外光刻的三非球面镜投影相机的照明系统设计
机译:用193nm浸没式光刻成像干涉光刻和偶极子照明对45nm半节距节点进行仿真
机译:浸没式光刻照明系统中基于双折射膜的偏振模转换方法
机译:用于浸没式光刻的水性和有机液体的折射率和吸收率。
机译:使用非球面透镜阵列的改进的腹腔镜照明系统
机译:开发浸没式无掩模光刻系统
机译:1993年达拉斯大坝延伸长度浸没式棒材筛网和超长度浸没式行走筛网的成像污染行为
机译:减少流体提取系统的方法,浸没式光刻设备以及在该浸没式光刻设备中使用的浸没液体的压力波动
机译:用于在浸没式光刻中原位清洁透镜的系统和方法,该系统和方法用于使用高折射率浸入液操作的浸没式光刻系统中
机译:浸没式光刻系统,浸没式光刻方法和器件制造方法
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