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严伟; 胡松; 杨勇; 周绍林; 蒋文波; 李艳丽; 乔俊仙;
中国科学院光电技术研究所;
电子束曝光机; 激光干涉仪; 精密工件台; 光刻; 方向敏感性;
机译:各种线性工件的精密长度测量系统
机译:解耦机器误差和工件几何特性在精密测量和机器校准中的混杂影响
机译:测量工件:纳米精度超精密加工和在线测量
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机译:精密平移台用于再现测量的目标体积运动
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机译:光学精密测量装置,用于在制造过程中测量工件的各种参数
机译:台站设备具有测量系统,初始化,振动补偿,低传播和轻量级精密台站
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