电泳沉积法制备PZT厚膜及其性能

摘要

用电泳沉积技术制备了约70μm的PZT[Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O3]厚膜，分析了zeta电位、粘度及电泳沉积速率对PZT悬浮液的稳定性和电泳沉积质量的影响，并研究了烧结后PZT厚膜的结构和电学性能。实验结果表明：在pH=5.5～6.5时，悬浮液的zeta电位高达50 mV以上，此时悬浮液分散性好、粘度低，有最佳的沉积速率(≈31mg·cm^(-2)·min^(-1))和高达51％的相对沉积密度。在此条件下制备出的PZT膜厚均匀一致，无裂纹，经1 000℃保持30min烧结后，在1 kHz下测量得PZT厚膜的介电常数为1 050，介电损耗约为0.05，饱和极化值为20μC／cm^2，剩余极化值为12.9 μC／cm^2，矫顽场强为10.5 kV／cm。