用于微机械器件的电镀Fe-Ni合金薄膜的研究

摘要

本文考察了非常规Ｆｅ－Ｎｉ合金电镀中，溶液浓度、电流密度、ｐＨ值和温度等因素对电镀的影响。实验结果表明，Ｆｅ－Ｎｉ合金电镀的异常性是由于Ｆｅ（ＯＨ）２对铁离子和镍离子的还原反应有着不同的阻碍作用和阻碍程度。用Ｘ射线平移法对Ｆｅ－Ｎｉ合金镀层的残余应力与电镀参数之间的关系进行了研究。并讨论了薄膜微结构与内应力的关系。