10^5g压阻式加速度微传感器实时自补偿技术的研究

摘要

针对测试105g压阻式加速度微传感器的温度补偿问题,本文从温度补偿的基本原理出发,通过推理和演绎,得出温度补偿公式。提出用软件编程和DSP的方法对传感器进行温度补偿,实现了传感器温度补偿的实时性和智能化。并提供了相应的实验数据,证明所提出的实时自补偿方法是切实可行的。